真空热处理的优点有：1、可防止加热工件被氧化。2、保证被加热工件的表面精度及质量。

真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。