紫外光刻机原理

光刻机的工作原理比较简单。原理是快速放大光源，使光源在几秒钟内发出的光脉冲波长大于被放大物质原子光谱的截面周长。并且所有组合的掩模对准器(计算机)应该具有相同的能量来完成光刻。光刻机会根据原子结构的性质，把它一个个切割成粒子。然后放大，让光线从凹槽里带出来，刻在光滑的平面上。现在光刻用的材料很多，很多是阳极树脂，玻璃，陶瓷，在工作应力下可以变形。 光刻技术原理...