四氟化硅常温下是无色、有毒、有***性臭味的气体，易潮解，在潮湿空气中可产生浓烟雾。四氟化硅也叫氟化硅，分子式为SiF4，分子量为104.06。

四氟化硅常用于氟硅酸及氟化铅的制取，也用作水泥和人造大理石的硬化剂，有机硅化合物的合成材料。

四氟化硅对眼、皮肤、粘膜和呼吸道有严重损害，局部腐蚀作用强，严重中毒者可致肺炎、肺水肿。