是词义和语法不同。

1、以致：

连接分句，用在后一分句开头，有“因而造成”、“致使”的意思，表示由于前面所说的原因而造成某种结果。

例如：他如此专心致志地读书，以致没听见铃响。

2、以至：

① 连接词或短语：有“一直到”的意思，表范围、数量、程度、时间等延伸和发展，一般指从小到大、从小到多、从浅到深。

例如：由于时间仓促，以至我不能做好充分的准备。

② 连接分句，用在后一分句开头，表示由于上述情况的程度很深而产生的结果。

例如：现代科学技术的发展日新月异，以至从前神话、童话中的一些幻想故事，现在都有可能成为现实。