真空镀膜机：主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

原理：它由高压部分和自动复位部分组成。高压部分包括三相高压变压器，三相桥式整流，RC阻容吸收网络,高压分压器。自动复位部分包括主开关电路，电流检测电路，栅压切换电路，帘栅控制电路。