1932年，柏林科工大学压力实验室研究员卢斯卡在对阴极射线示波器做了一些改进，成功得到了放大几倍后的铜网图像，确立了电子显微法的思想。1933年底，卢斯卡制造成了首架放大一万倍的电子显微镜，并拍摄了金属箔和纤维的放大像，因此使得电子显微镜的放大倍数超过了光学显微镜。