高压硅堆内部是由多只高压整流二极管（硅粒）串联组成，检测时，可用万用表的R×10k档测量其正、反向电阻值。正常的高压硅堆，其正向电阻值大于200kΩ，反向电阻值为无穷大。若测得其正、反向均有一定电阻值，则说明该高压硅堆已软击穿损坏。

当被测高压硅堆按照正向接法连接时，万用表读数在30V以上时即为合格。当按反向接法连接时，万用表指针应反向偏转。若万用表指针始终不动，则可能是高压硅堆内部断路，使电流不能通过万用表，但也可能是高压硅堆已击穿。短路时交流电压虽能直接加于万用表，然而由于交流电频率为50Hz，万用表指针来不及摆动，所以量程开关拨在直流电压档的万用表总是处于零位上。

因此，判断高压硅堆短路和断路，只要把万用表的量程开关拨至交流电压250V或500V档，若读数为220V交流电压值，则证明被测高压硅堆短路，若此时读数为零，则表明高压硅堆内部已断路。