辉光放电是种低气压放电现象，工作压力一般都低于10mbar，其基本构造是在封闭的容器内放置两个平行的电极板，利用产生的电子将中性原子或分子激发，而被激发的粒子由激发态降回基态时会以光的形式释放出能量。

辉光放电是稀薄气体中的自激导电现象。是由法拉第第一个发现。它包括亚正常辉光和反常辉光两个过渡阶段。辉光放电主要应用于氖稳压管、氦氖激光器等器件的制造。用于污水处理、灭菌消毒、聚合物材料表面改性、分析仪器离子源等方面。