功率半导体器件，以前也被称为电力电子器件，进行功率处理的，具有处理高电压，大电流能力的半导体器件。包括变频、变压、变流、功率管理等等。早期的功率半导体器件有大功率二极管和晶闸管等，后期的功率半导体器件主要是以MOSFET为代表的新型功率半导体器件，如VDMOS、LDMOS，以及IGBT。