利用高压电离的方法，使空气中的部分氧气分解聚合为臭氧。臭氧发生器的核心技术和设备是发生器中的放电管，采用微间隙介质阻挡放电设计，系统运行电压为6-8千伏。高频输出经升压系统后产生正弦波高压电，经电缆与发生器相连，在高频高压的作用下，放电间隙产生冷态等离子体放电生成臭氧。